این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
Iranian Journal of Chemistry and Chemical Engineering، جلد ۲۸، شماره ۲، صفحات ۵۷-۶۱
عنوان فارسی
چکیده فارسی مقاله
کلیدواژه‌های فارسی مقاله
عنوان انگلیسی Structural Properties of Post Annealed ITO Thin Films at Different Temperatures
چکیده انگلیسی مقاله Indium tin oxide (ITO) thin films were deposited on glass substrates by RF sputtering using an ITO ceramic target (In2O3-SnO2, 90-10 wt. %). After deposition, samples were annealed at different temperatures in vacuum furnace. The post vacuum annealing effects on the structural, optical and electrical properties of ITO films were investigated. Polycrystalline ITO films have been analyzed in wide optical spectrum, X-ray diffraction and four point probe methods. The results show that increasing the annealing temperature improves the crystallinity of the films. The resistivity of the deposited films is about 19×10-4 Ωcm and falls down to 7.3×10-5 Ωcm as the annealing temperature is increased to 500 °C in vacuum.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله
نویسندگان مقاله نگین معنوی زاده |
thin film laboratory, ece department, university of tehran, tehran, i.r. iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تهران (Tehran university)

علیرضا خدایاری |
thin film laboratory, ece department, university of tehran, tehran, i.r. iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تهران (Tehran university)

ابراهیم اصل سلیمانی | asl soleimani
thin film laboratory, ece department, university of tehran, tehran, i.r. iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تهران (Tehran university)

شیدا باقرزاده |
thin film laboratory, ece department, university of tehran, tehran, i.r. iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تهران (Tehran university)

محمد هادی ملکی | mohammad hadi
nuclear science and technology research institute, laser and optics research school, tehran, i.r. iran

نشانی اینترنتی http://www.ijcce.ac.ir/article_13367_57e82bba5ea40f0a1abcca4c2b74c47f.pdf
فایل مقاله فایلی برای مقاله ذخیره نشده است
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده en
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات