این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
Iranian Journal of Chemistry and Chemical Engineering، جلد ۲۶، شماره ۳، صفحات ۵۵-۵۹
عنوان فارسی
چکیده فارسی مقاله
کلیدواژه‌های فارسی مقاله
عنوان انگلیسی Ohmic Contact of Cu/Mo and Cu/Ti Thin Layers on Multi-Crystalline Silicon Substrates
چکیده انگلیسی مقاله Cu-Mo and Cu-Ti contact structures were fabricated on multi-crystalline silicon substrates to provide a low resistance ohmic contact. Deposition steps are done in an excellent vacuum chamber by means of electron beam evaporation and samples are then annealed for the realization of an efficient alloy layer. The effects of process parameters such as film thickness, annealing duration and temperature on the contact quality have been investigated and optimized for achieving the best special contact resistivity. The specific contact resistance obtained for Cu-Mo and Cu-Ti structures were 8.58×10-6 Ω-cm2 and 9.72×10-6 Ω-cm2, respectively. Finally, between the two proposed structures a comparison has been made which is resulted in the selection of Cu-Mo contact as the better structure due to its less resistance and better adhesion to the substrate.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله Cu-Mo contact,Cu-Ti contact,Ohmic contact,Resistivity
نویسندگان مقاله فاطمه دهقان نیری | dehghan nayeri
thin film laboratory, ece department, university of tehran, tehran, i.r. iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تهران (Tehran university)

بهزاد اسفندیارپور |
thin film laboratory, ece department, university of tehran, tehran, i.r. iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تهران (Tehran university)

اشکان بهنام |
thin film laboratory, ece department, university of tehran, tehran, i.r. iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تهران (Tehran university)

ابراهیم اصل سلیمانی | asl soleimani
thin film laboratory, ece department, university of tehran, tehran, i.r. iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تهران (Tehran university)

شمس الدین مهاجرزاده |
thin film laboratory, ece department, university of tehran, tehran, i.r. iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تهران (Tehran university)

محمد هادی ملکی | mohammad hadi
laser research center, tehran, i.r. iran

نشانی اینترنتی http://www.ijcce.ac.ir/article_7631_c65e4ba79f285da9e8e00238f2563ccb.pdf
فایل مقاله فایلی برای مقاله ذخیره نشده است
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده en
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات