این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
Journal of Nanostructures، جلد ۴، شماره ۴، صفحات ۴۱۹-۴۲۴
عنوان فارسی
چکیده فارسی مقاله
کلیدواژه‌های فارسی مقاله
عنوان انگلیسی Fabrication and Optical Characterization of Silicon Nanostructure Arrays by Laser Interference Lithography and Metal-Assisted Chemical Etching
چکیده انگلیسی مقاله In this paper metal-assisted chemical etching has been applied to pattern porous silicon regions and silicon nanohole arrays in submicron period simply by using positive photoresist as a mask layer. In order to define silicon nanostructures, Metal-assisted chemical etching (MaCE) was carried out with silver catalyst. Provided solution (or materiel) in combination with laser interference lithography (LIL) fabricated different reproducible pillars, holes and rhomboidal structures. As a result, Submicron patterning of porous areas and nanohole arrays on Si substrate with a minimum feature size of 600nm was achieved. Measured reflection spectra of the samples present different optical characteristics which is dependent on the shape, thickness of metal catalyst and periodicity of the structure. These structures can be designed to reach a photonic bandgap in special range or antireflection layer in energy harvesting applications. The resulted reflection spectra of applied method are comparable to conventional expensive and complicated dry etching techniques.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله
نویسندگان مقاله p حیدری |
faculty of engineering, islamic azad university, roudehen branch.
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه آزاد اسلامی علوم و تحقیقات (Islamic azad university science and research branch)

علیرضا اصغرپور | a r
faculty of engineering, islamic azad university, roudehen branch.
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه آزاد اسلامی علوم و تحقیقات (Islamic azad university science and research branch)

m نازک تبار |
faculty of engineering, islamic azad university, roudehen branch.
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه آزاد اسلامی علوم و تحقیقات (Islamic azad university science and research branch)

m زاهدی نژاد |
electrical and computer engineering department, university of tehran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تهران (Tehran university)

نشانی اینترنتی http://jns.kashanu.ac.ir/article_8485_b493122d45d6a4429f54621186c4ca46.pdf
فایل مقاله فایلی برای مقاله ذخیره نشده است
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده en
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات