این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
Journal of Nanostructures، جلد ۲، شماره ۱، صفحات ۱۰۷-۱۱۲
عنوان فارسی
چکیده فارسی مقاله
کلیدواژه‌های فارسی مقاله
عنوان انگلیسی Effect of Thickness on Properties of Copper Thin Films Growth on Glass by DC Planar Magnetron Sputtering
چکیده انگلیسی مقاله Copper thin films with nano-scale structure have numerous applications in modern technology. In this work, Cu thin films with different thicknesses from 50–220 nm have been deposited on glass substrate by DC magnetron sputtering technique at room temperature in pure Ar gas. The sputtering time was considered in 4, 8, 12 and 16 min, respectively. The thickness effect on the structural, morphological and electrical properties were studied by X-ray diffraction (XRD), atomic force microscope (AFM) and four point probe (FPP) measurements, respectively. The results show that by increasing thickness, the copper films crystallinity in (111) direction increases. Also by varying the films thickness the significant changes were observed in the films surface morphology due to the mechanism of films growth. Finally, the relationship between film resistivity and Cu film thickness are investigated in this pap
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله Copper Thin film,Nanoscale,Thickness,Morphology,Resistivity
نویسندگان مقاله a هژبری |
department of physics, karaj branch, islamic azad university, karaj, iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه آزاد اسلامی علوم و تحقیقات (Islamic azad university science and research branch)

f hajakbari |
department of physics, karaj branch, islamic azad university, karaj, iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه آزاد اسلامی علوم و تحقیقات (Islamic azad university science and research branch)

محمدعلی مقری موذن | m a moghri moazzen
young researchers club, karaj branch, islamic azad university, karaj, iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه آزاد اسلامی علوم و تحقیقات (Islamic azad university science and research branch)

s کدخدایی |
department of physics, karaj branch, islamic azad university, karaj, iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه آزاد اسلامی علوم و تحقیقات (Islamic azad university science and research branch)

نشانی اینترنتی http://jns.kashanu.ac.ir/article_5354_ae620e5d439a85703fd96d1a5b9fa429.pdf
فایل مقاله فایلی برای مقاله ذخیره نشده است
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده en
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات