این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
International Journal of Engineering، جلد ۲۸، شماره ۶، صفحات ۸۸۸-۸۹۵
عنوان فارسی
چکیده فارسی مقاله
کلیدواژه‌های فارسی مقاله
عنوان انگلیسی A MEMS Capacitive Microphone Modelling for Integrated Circuits
چکیده انگلیسی مقاله In this paper, a model for MEMS capacitive microphone is presented for integrated circuits. The microphone has a diaphragm thickness of 1 μm, 0.5 × 0.5 mm2 dimension, and an air gap of 1.0 μm. Using the analytical and simulation results, the important features of MEMS capacitive microphone such as pull-in voltage and sensitivity are obtained 3.8v and 6.916 mV/Pa, respectively while there is no pressure on the diaphragm. The microphone also has a capacitance of 2.3 pF. Using the relation between the capacitance and pressure signal, a 3 ports model for the MEMS microphone is proposed. To bias the microphone, a 2.3 V DC and a 1 GΩ resistor is used. The voltage and current signal of the microphone is proportional to the applied pressure of the acoustic wave. A RC filter is added to circuit to eliminate the low band frequency (≤ 20 Hz) noises. The microphone shows good response to amplitude and frequency changes versus applied pressure signal.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله MEMS, Modeling, capacitive microphone, integrated circuits
نویسندگان مقاله Javad Ahmadnejad |
Electerical Engineering, Babol University of Technology

bahram azizollah Ganji |
Electrical Engineering, Babol University of Technology

نشانی اینترنتی http://www.ije.ir/article_72529_43a1e0d4f1c2e6cc6d2b7a3781c68205.pdf
فایل مقاله اشکال در دسترسی به فایل - ./files/site1/rds_journals/409/article-409-2062505.pdf
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده en
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات