این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
International Journal of Engineering، جلد ۲۶، شماره ۱۱، صفحات ۱۳۲۳-۱۳۳۰
عنوان فارسی
چکیده فارسی مقاله
کلیدواژه‌های فارسی مقاله
عنوان انگلیسی The Effect of Corrugations on Mechanical Sensitivity of Diaphragm for MEMS Capacitive Microphone
چکیده انگلیسی مقاله In this paper the effect of corrugated diaphragm on performance of MEMS microphone is described. The corrugated diaphragm is modeled in order to improve the sensitivity of micromachined silicon acoustic sensor. Analytical analyzes have been carried out to derive mathematic expressions for the mechanical sensitivity and displacement of corrugated diaphragm with residual stress. It is shown that the mechanical sensitivity and displacement of diaphragm can be modeled using thin plate theory. The mechanical stress of corrugated diaphragm is calculated using mathematical model and its relationship to residual stress is expressed. The analytically result show that the mechanical sensitivity of diaphragm can be increased using corrugation. Because the corrugation can be reduce the effect of residual stress of diaphragm.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله
نویسندگان مقاله bahram azizollah Ganji |
Electrical Engineering, Babol University of Technology

Mehdi Taybi |
Electrical & Computer Engineering, Babol University of Technology

نشانی اینترنتی http://www.ije.ir/article_72202_b36ce4732e9ff9d180b452f44af27887.pdf
فایل مقاله اشکال در دسترسی به فایل - ./files/site1/rds_journals/409/article-409-2062830.pdf
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده en
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات