این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
مهندسی مکانیک امیرکبیر، جلد ۵۲، شماره ۸، صفحات ۹۱-۱۰۰

عنوان فارسی مدل‌سازی میرایی در میکرومحرک های‌‌ پیچشی دو محوره با درنظر گرفتن خمش تیرهای نگهدارنده
چکیده فارسی مقاله میکرومحرکهای پیچشی در کاربردهای متعددی از جمله سوئیچهای نوری، تصویربرداری زیست پزشکی و نورشناسی مورد استفاده قرار میگیرند. میرایی لایه هوای فشرده یکی از مکانیزمهای اتلاف انرژی در این میکرومحرکها می‌‌باشد. این میرایی، یک عامل کلیدی در تعیین عملکرد دینامیکی سیستم‌های میکروالکترومکانیکی میباشد و به همین دلیل، به طور گسترده مورد توجه محققان قرار گرفته است. هدف از این مقاله نیز، مدل‌‌سازی میرایی لایه هوای فشرده در میکرومحرک‌‌های پیچشی دو محوره با درنظر گرفتن اثر خمشی تیرهای نگهدارنده می‌‌باشد. بدین منظور ابتدا معادله رینولدز حاکم بر رفتار هوا حبس شده در زیر میکرومحرک نوشته و سپس با توجه به شرایط مسئله و صرف‌‌نظر از اثرات اینرسی هوا در مقایسه با اثرات لزجت، معادله رینولدز، ساده‌‌سازی شده است. معادله حاصل پس از بی‌‌بعدسازی، با استفاده از روش گسترش یافته‏ی کانتروویچ، حل شده و توزیع فشار هوای فشرده بدست آمدهاست. از توزیع فشار حاصله به منظور محاسبه نیرو و گشتاور میرایی لایه هوای فشرده استفاده شده است. در ادامه، تاثیر پارامترهای طراحی میکرومحرک دو محوره روی گشتاورهای میرایی بررسی شد و برای تحلیل دقیق‏تر اثر این پارامترها برروی گشتاورها و نیروی بابعد نیز مورد مطالعه قرار گرفت. از نتایج این مقاله می‌‌توان به خوبی برای مدل‌‌سازی دقیق دینامیک و کنترل میکرومحرکهای پیچشی استفاده کرد.
کلیدواژه‌های فارسی مقاله

عنوان انگلیسی Modeling damping in dual axis torsion micro-actuators considering the bending of the support beams
چکیده انگلیسی مقاله Dual axis torsion micro-actuators find variety of applications such as optical switches, biomedical imaging and adaptive optics. Squeezed film air damping is one of the most important energy loss mechanisms in these devices. This damping, is a key factor in determination of the dynamic performance of the micro-electro-mechanical systems. So they have been widely considered by the researchers. The objective of this paper is to suggest a model for the squeezed film damping of dual axis torsional micro-actuators by considering the bending of the supporting torsion beams. To achieve so, the Reynolds equation governing the pressure of the trapped gas between the actuator plate and the underneath electrodes is considered and simplified for the case in which the inertial effects are negligible compared to the viscous effects. The dimensionless form of this equation is then solved using the extended Kantorovich method and the pressure distribution under the actuator is obtained. This pressure distribution is then employed to calculate the resulting force and force of the squeezed film air damping. The effects of the design parameters of the actuator on the dimensionless damping torques, dimensional damping torques and dimensional damping force are studied. The presented results in this paper can be effectively utilized for an accurate dynamic modeling and control of such structures.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله

نویسندگان مقاله مژده خادم باشی |
گروه مهندسی مکانیک، دانشکده فنی و مهندسی، دانشگاه فردوسی مشهد، مشهد، ایران

حمید معین فرد |
دانشگاه فردوسی مشهد


نشانی اینترنتی https://mej.aut.ac.ir/article_3353_88929f0a820cdb1d3471ba42c48cb369.pdf
فایل مقاله اشکال در دسترسی به فایل - ./files/site1/rds_journals/1252/article-1252-2235974.pdf
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده fa
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات