این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
سنجش و ایمنی پرتو، جلد ۴، شماره ۲، صفحات ۳۳-۳۶
عنوان فارسی اندازه‌گیری هیدروژن در عمق نمونۀ سیلیکان متخلخل به روش آشکارسازی ذرات پس‌زده از برخورد کشسان
چکیده فارسی مقاله سیلیکان متخلخل (PS) از حل الکتروشیمیایی سیلیکان در محلول HF+DMF به‌دست می‌آید. در فرایند تشکیل حفره‌ها در سیلیکان، ترکیبات هیدروژن‌دار در سطح دیواره‌های حفره‌ها ایجاد می‌شوند. در این تحقیق با اندازه‌گیری میزان هیدروژن در عمق نمونۀ PS، توزیع تخلخل در عمق نمونه تخمین زده شده است. با توجه با ناکارآمدی نرم‌افزارهای شبیه‌سازی متداول آنالیز با باریکۀ یونی، برنامۀ مناسبی برای شبیه‌سازی به روش مونت-کارلو نوشته شد تا نزدیک‌ترین توزیع به نتیجۀ آزمایش به‌دست آید. غلظت هیدروژن در عمق نمونۀ متناسب با میزان تخلخل در نظر گرفته شده است. نتیجۀ به‌دست‌آمده نشان می‌دهد که بیشترین تخلخل برای نمونه 90% بوده است که در عمق nm 139- 69 ایجاد شده است.
کلیدواژه‌های فارسی مقاله سیلیکان متخلخل، اندازه‌گیری هیدروژن، ERDA،
عنوان انگلیسی In depth hydrogen measurement of porous silicon by elastic recoil detection analysis
چکیده انگلیسی مقاله Porous silicon (PS) samples are obtained by electrochemical anodization of Si wafers in HF+DMF solution. The hydrogen complex components are formed on the inner surface walls of porous silicon. In this work the depth profile of porous silicon is estimated by measurement of hydrogen content in the depth of the sample. Since the well-known ion beam analysis simulation programs are inappropriate for simulating porous materials, a Monte-Carlo simulation program is developed to obtain the most consistent depth profiles with the experimental ones. Hydrogen content in the depth of the sample is considered to be proportional to the porosity of the sample. The results indicate that the maximum porosity of the sample is 90% for 69-139 nm depth of the sample.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله سیلیکان متخلخل, اندازه‌گیری هیدروژن, ERDA
نویسندگان مقاله محمد ترکیها |
دانشگاه کاشان

امیدرضا کاکویی |
سازمان انرژی اتمی

وحید فتح اللهی |
سازمان انرژی اتمی

نشانی اینترنتی https://rsm.kashanu.ac.ir/article_112161_2e3368dc46c33d0f4c10e1c370af5740.pdf
فایل مقاله فایلی برای مقاله ذخیره نشده است
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده fa
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات