این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
دنیای نانو، جلد ۱۵، شماره ۵۶، صفحات ۴۹-۵۶
عنوان فارسی شبیه‌سازی و بررسی لایه‌نشانی لایه‌های نازک فلزی به روش تبخیر حرارتی
چکیده فارسی مقاله لایه‌های نازک فلزی به دلیل کاربرد گسترده درحوزه‌های مرتبط با سلول‌ خورشیدی، حسگر، میکروسکوپ الکترونی و طیف‌سنجی، تشخیص و درمان بافتهای سرطانی، هوافضا، ارتباطات راه دور، لیزرها، خودرو و ... مورد توجه خاص قرار دارند. در این مقاله فرایند لایه‌نشانی فلزات کاربردی آلومینیوم، مس، قلع و نقره با روش تبخیر حرارتی با استفاده از روش المان محدود شبیه‌سازی و مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج نشان می‌دهد که نوع فلز بر روی ضخامت لایه‌های نازک تاثیر بسزایی دارد اما میزان یکنواختی ضخامت لایه‌ها مستقل از این پارامتر است. همچنین بررسی‌ها نشان داد که تغییر فشار باعث تغییر توزیع ضخامت می‌شود اما میزان یکنواختی ضخامت لایه‌ها را تحت تاثیر قرار نمی‌دهد. همچنین نرخ لایه‌نشانی فلزات فوق در فشار 50 و 100 پاسکال ارائه شد.
 
کلیدواژه‌های فارسی مقاله شبیه سازی،لایه نازک فلزی،تبخیر حرارتی،ضخامت لایه،
عنوان انگلیسی Simulation and investigation of layering of thin metal layers by thermal evaporation method
چکیده انگلیسی مقاله
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله شبیه سازی,لایه نازک فلزی,تبخیر حرارتی,ضخامت لایه
نویسندگان مقاله جواد علیپور زردکوهی |
دانشکده فیزیک، دانشگاه سمنان، سمنان، ایران

فاطمه شریعتمدار طهرانی |
دانشکده فیزیک، دانشگاه سمنان، سمنان، ایران

مریم علیان‌نژادی |
دانشکده فیزیک، دانشگاه سمنان، سمنان، ایران

نشانی اینترنتی https://donyayenano.ir/article_46128_c0527d05cc6d5b94f98af9b1e640d35c.pdf
فایل مقاله فایلی برای مقاله ذخیره نشده است
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده fa
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات