این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
مهندسی مکانیک، جلد ۲۵، شماره ۱۰۶، صفحات ۴۲-۴۸
عنوان فارسی مروری بر ساختار سیستم‌های میکروالکترومکانیکی
چکیده فارسی مقاله فناوری سیستم‌های میکروالکترومکانیک، فناوری دستگاه‌های بسیار کوچک است و آن را در مقیاس نانو به سیستم‌های نانوالکترومکانیکی و فناوری نانو درمی‌آورد. اگرچه این فناوری در حال حاضر به روش آزمون و خطا طراحی می‌شود، اما حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک‌ها و قطعات الکترونیکی روی یک لایه سیلیکون به‌کمک فناوری ساخت تراشه‌های میکرونی است. تولید سیستم‌های میکروالکترومکانیکی به‌کمک یکی از بنیادی‌ترین فناوری‌ها انجام می‌شود. میکرو‌ماشینکاری سیلیکونی پیشرفته‌‌ترین فناوری میکرو‌ماشینکاری است. امروزه در کشورهای پیشرفته جهان، توسعه تلفیقی سیستم‌های مکانیکی و الکترونیکی در ابعاد بسیار کوچک مورد نظر است؛ زیرا این حوزه مهم علمی موجب افزایش سرعت و ‌کاهش حجم در بخش‌های مختلف صنعت خواهد شد. فناوری سیستم‌های میکروالکترومکانیکی در صنایع گوناگون و اثرگذار جهان از جمله صنعت خودروسازی، موشکی، تولید انواع تراشه‌ و صنایع نظامی کاربرد بسیار زیادی دارد. علاوه بر تجاری‌سازی برخی دستگاه‌های میکروالکترومکانیکی، که دارای یکپارچگی کمتری هستند مانند میکروشتاب‌سنج‌ها، مفاهیم و امکان‌پذیری بیشتر سیستم‌های میکروالکترومکانیکی پیچیده برای کاربرد‌هایی در زمینه‌های متنوع همچون سیستم‌های بی‌‌سیم و اپتیک ارائه شده است. در این مقاله به برخی از ابعاد گوناگون این بخش از صنعت اشاره شده است.
کلیدواژه‌های فارسی مقاله سیستم‌ میکروالکترومکانیکی، حسگر، محرک، میکروماشینکاری،
عنوان انگلیسی
چکیده انگلیسی مقاله
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله
نویسندگان مقاله حسین عباس زاده مبارکی | abbas zadeh mobaraki
دانشجوی کارشناسی مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی ارومیه، ارومیه

نشانی اینترنتی http://mmep.isme.ir/article_21344_0e645a222634bebb187907d25298017a.pdf
فایل مقاله اشکال در دسترسی به فایل - ./files/site1/rds_journals/1251/article-1251-358377.pdf
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده fa
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات