این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
Physical Chemistry Research، جلد ۵، شماره ۳، صفحات ۴۹۷-۵۰۴
عنوان فارسی
چکیده فارسی مقاله
کلیدواژه‌های فارسی مقاله
عنوان انگلیسی The Effect of Substrate on Structural and Electrical Properties of Cu3N Thin Film by DC Reactive Magnetron Sputtering
چکیده انگلیسی مقاله The aim of this paper is to study the effect of substrate on the Cu3N thin films. At first Cu3N thin films are prepared using DC magnetron sputtering system. Then structural properties, surface roughness, and electrical resistance are studied using X-ray diffraction (XRD), the atomic force microscope (AFM) and four-point probe techniques respectively. Finally, the results are investigated and compared for glass and Si substrate. The results show a phase transition in orientation from (111) and (100) planes to (200) plane when the substrate of the sample is changed from glass to Si. Also, the grain size of deposited particles on films increased, changing substrate from glass to Si. Then, AFM results show that surface roughness on Si substrate is more than the glass substrate. Finally, four-point probe techniques show that surface electrical resistivity is increased sharply, changing substrate from silicon to glass.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله
نویسندگان مقاله علیرضا رازقی زاده |
department of physics, faculty of science, payame noor university, tehran, iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه پیام نور تهران (Payame noor university)

مریم محمودی قالوندی | mahmoudi ghalvandi
department of physics, faculty of science, payame noor university, tehran, iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه پیام نور تهران (Payame noor university)

فرهنگ sohillian |
department of physics, faculty of science, kharazmi university, tehran, iran

وحدت رفیعی |
department of physics, faculty of science, payame noor university, tehran, iran
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه پیام نور تهران (Payame noor university)

نشانی اینترنتی http://www.physchemres.org/article_45112_eac6880b0b25b8d867cb83d5bbc773b3.pdf
فایل مقاله اشکال در دسترسی به فایل - ./files/site1/rds_journals/529/article-529-485564.pdf
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده en
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات