این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
مهندسی مکانیک مدرس، جلد ۱۷، شماره ۵، صفحات ۱۲-۲۰
عنوان فارسی ساخت سریع میکرو کانتیلیور‌های تک‌ماده‌ای از جنس SiO۲ با هزینه کم بر پایه فناوری میکروماشین‌کاری حجمی
چکیده فارسی مقاله از آنجائیکه کانتیلیور‌ها پایه و اساس بیشتر قطعات مبتنی بر ساختارهای MEMS می‌باشند، در این مقاله فرآیند ساخت کانتیلیور‌ با فناوری میکرو ماشین‌کاری حجمی بیان شده است و از آن فرآیند برای ساخت آرایه‌ای از میکروکانتیلیورهای تک‌ماده‌ای از جنس SiO2 استفاده شده است. نتایج حاصل از این مقاله می‌تواند پایه و اساس طراحی و ساخت حسگرهایی باشد که بر پایه کانتیلیور‌ از جنس SiO2 استوار است. طراحی فرآیند ساخت کانتیلیور‌ها در 13 مرحله با 2 ماسک شیشه‌ای و طلقی انجام‌شده است و معلق‌سازی آن‌ها نیز به روش رهاسازی‌تر است. از مهم‌ترین مزایای روش ارائه‌شده می‌توان به عدم نیاز به تجهیزات پیشرفته لایه نشانی، طراحی با حداقل ماسک، سادگی در پیاده‌سازی سریع کانتیلیور‌ها، اجتناب از پیچیدگی رهاسازی از لایه قربانی، رهاسازی کانتیلیور در دمای محیط، کم هزینه بودن و در نهایت امکان پیاده‌سازی آن در آزمایشگاه‌های میکروالکترونیک با تجهیزات محدود اشاره نمود. کانتیلیور‌های تک‌ماده‌ای از جنس SiO2 با طول‌های 50µm، 100، 150، 200، 250، 300، 350 و 400، به ضخامت‌های1µm و 2 و به عرض‌های 20µm و 40 ساخته شدند. مقادیر فرکانس رزونانس و ثابت فنر آن‌ها نیز برای مواد مختلف Si3N4، Si، Au، SiO2، Al و SU8 با ابعاد متفاوت محاسبه‌شده‌اند. نتایج حاصل از تصاویر روبشی نشان می‌دهند که عملیات لیتوگرافی باوجود ناهمواری در پشت زیر لایه به‌ درستی صورت پذیرفته است، کنترل فرآیند ساخت و کنترل عملیات زدایش Si در حد قابل قبول است و کانتیلیور‌ها با استرس ناچیز به خوبی به حالت معلق درآمده‌اند.
کلیدواژه‌های فارسی مقاله میکروماشین کاری حجمی، میکروکانتیلیور، رهاسازی تر، MEMS،
عنوان انگلیسی Fast and low lost fabrication of SiO2 microcantilever based on Bulk microelectromechanical system
چکیده انگلیسی مقاله We know, cantilevers are based for the most of the MEMS components, in this paper, the fabrication process of SiO2 micro cantilever array based on bulk micromachining technology is introduced. The results of which can be used to fabricate of SiO2 micro cantilever sensors. The micro-cantilever fabrication process is implemented in the 13th stage with two glass and talcous masks and it is also suspend by wet release technique. The main advantages of the proposed method can be expressed no need for advanced deposition equipment, design with minimum mask, fast and simplicity in implementation of the micro cantilever, avoid of complexity release from sacrificial layer, release the micro cantilever at environment temperature, low cost price and finally possible to implement in microelectronics research laboratories with limited equipment. The SiO2 micro cantilevers fabricate with 1and 2µm thickness, 50, 100, 150, 200, 250, 300, 350 and 400μm lengths, and 20 and 40µm widths. The resonant frequency and the spring constant values are also calculated for different materials (Si3N4, Si, Au, SiO2, Al and SU8) with various sizes. The SEM images results show that the lithographic process is correctly done on the roughness of the backside substrate, the fabrication process and Si etching operations controls are performed suitable, and micro-cantilevers are suspended with negligible stress.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله Bulk micromachining, Micro cantilever, Wet release, MEMS
نویسندگان مقاله حسن عبداللهی |
عضو هیات علمی دانشگاه هوائی شهید ستاری - مدیر پژوهش دانشکده برق
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه هوایی شهید ستاری (Shahid sattari university of aeronautical engineering)

نشانی اینترنتی http://mme.modares.ac.ir/article_16612_3f1ea28ef376094b97822b8477b74ce4.pdf
فایل مقاله اشکال در دسترسی به فایل - ./files/site1/rds_journals/1256/article-1256-398437.pdf
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده fa
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات